氦質(zhì)譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

1氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)

氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級(jí)機(jī)械泵組成。

在常規(guī)檢測(cè)時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到一定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測(cè)前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)；否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞；所以被檢件的清潔前處理及對(duì)設(shè)備自身定期的保養(yǎng)清理尤為重要。

2設(shè)備自身保養(yǎng)小知識(shí)

（1）前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；

（2）電磁閥組的超聲清洗；

（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。

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